ZKY-III真空度測試儀

ZKY-III真空度測試儀主要特點

★基于電離電荷的采樣技術
ZKY-III真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我廠專家在磁控放電的研究中發現：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關性。因此，我廠*了基于電離電荷的采樣技術，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。

★漏電電流的處理
對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時，會有數值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性，并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

★內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當內部真空度和外加激勵電源一定時，其放電電荷量是不同的，并且有相當的差異。為準確測量，對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過與國內主要真空滅弧室生產廠家的密切合作，取得了幾乎國內外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數據，通過數學處理，將其特征參數送入ZKY-2000系列產品。因此,ZKY-2000系列產品內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。

關鍵詞：，，
這是國內外同類產品中*的。

★完善的輸入保護電路
當真空滅弧室的真空度非常低時，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上，使其承受十分強的電沖擊。ZKY-2000的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發生暫時工作不正常時（重新開機即可），也不會造成電路部分的損壞。

技術參數

▲測量范圍： 1*10-5～1*10-1pa
▲測量誤差： l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%
▲測量分辨率： 10-5pa
▲允許環溫： O℃～55℃
▲空氣濕度： <85%RH
▲電 源： AC220士10%
▲外型尺寸： 430X300X235mm

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